Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide
Idioma
fr
Thèses de doctorat
Fecha de defensa
2010-03-08Especialidad
Electronique
Escuela doctoral
École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde)Resumen
Résumé
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Abstract
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Palabras clave
MEMS (systèmes microélectromécaniques)
Matériaux piézoélectriques
Couches épaisses (électronique)
Capteurs (technologie)
Orígen
Recolectado de STARCentros de investigación