Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide
Language
fr
Thèses de doctorat
Date
2010-03-08Speciality
Electronique
Doctoral school
École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde)Abstract
Résumé
RésuméRead less <
English Abstract
Abstract
AbstractRead less <
Keywords
MEMS (systèmes microélectromécaniques)
Matériaux piézoélectriques
Couches épaisses (électronique)
Capteurs (technologie)
Origin
STAR importedCollections