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Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide

dc.contributor.advisorMaglione, Mario
dc.contributor.advisorLucat, Claude
dc.contributor.authorCASTILLE, Christophe
dc.contributor.otherHeinrich, Stephen
dc.contributor.otherBosseboeuf, Alain
dc.contributor.otherGuyomar, Daniel
dc.contributor.otherDufour Dabadie, Isabelle
dc.date2010-03-08
dc.date.accessioned2020-12-14T21:15:14Z
dc.date.available2020-12-14T21:15:14Z
dc.identifier.urihttp://ori-oai.u-bordeaux1.fr/pdf/2010/CASTILLE_CHRISTOPHE_2010.pdf
dc.identifier.urihttps://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/22399
dc.identifier.nnt2010BOR14005
dc.description.abstractRésumé
dc.description.abstractEnAbstract
dc.language.isofr
dc.subjectMEMS (systèmes microélectromécaniques)
dc.subjectMatériaux piézoélectriques
dc.subjectCouches épaisses (électronique)
dc.subjectCapteurs (technologie)
dc.titleÉtude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide
dc.typeThèses de doctorat
bordeaux.hal.laboratoriesThèses de l'Université de Bordeaux avant 2014*
bordeaux.institutionUniversité de Bordeaux
bordeaux.type.institutionBordeaux 1
bordeaux.thesis.disciplineElectronique
bordeaux.ecole.doctoraleÉcole doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde)
star.origin.linkhttps://www.theses.fr/2010BOR14005
dc.contributor.rapporteurCattan, Eric
dc.contributor.rapporteurPijolat, Christophe
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.title=%C3%89tude%20de%20MEMS%20pi%C3%A9zo%C3%A9lectriques%20lib%C3%A9r%C3%A9s%20et%20microstructur%C3%A9s%20par%20s%C3%A9rigraphie%20:%20application%20%C3%A0%20la%20d%C3%A9tect&rft.atitle=%C3%89tude%20de%20MEMS%20pi%C3%A9zo%C3%A9lectriques%20lib%C3%A9r%C3%A9s%20et%20microstructur%C3%A9s%20par%20s%C3%A9rigraphie%20:%20application%20%C3%A0%20la%20d%C3%A9tec&rft.au=CASTILLE,%20Christophe&rft.genre=unknown


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