Étude de MEMS piézoélectriques libérés et microstructurés par sérigraphie : application à la détection en milieu gazeux et en milieu liquide
Langue
fr
Thèses de doctorat
Date de soutenance
2010-03-08Spécialité
Electronique
École doctorale
École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde)Résumé
Résumé
Résumé en anglais
Abstract
Mots clés
MEMS (systèmes microélectromécaniques)
Matériaux piézoélectriques
Couches épaisses (électronique)
Capteurs (technologie)