Nouvelles méthodes d'imagerie haute résolution pour l'analyse des composants nanoélectroniques
Langue
fr
Thèses de doctorat
Date de soutenance
2012-10-02Spécialité
Electronique
École doctorale
École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde)Résumé
-Utilisation de l’interaction non-linéaire entre des impulsions laser (proche infrarouge) ultracourtes et le silicium, en mode d’absorption multiphotonique ou de génération d’harmoniques optiques, pour la stimulation et ...Lire la suite >
Résumé en anglais
Using the nonlinear interaction between ultra-short laser pulses (λ ~ 0.8μm to1.3μm) and silicon, with multi-photon absorption or optical harmonic generation, to achieve photoelectric stimulation and testing. Development ...Lire la suite >
Mots clés
Nonlinéaire
Optique
Analyse de défaillance
Microélectronique
Mots clés en anglais
Nonlinear
Optics
Failure analysis
Microelectronique