Microcapteurs chimiques à base de micropoutres en silicium modi?ées à l’aide de matériaux inorganiques microporeux
Language
fr
Thèses de doctorat
Date
2009-12-14Speciality
Electronique
Doctoral school
École doctorale des sciences physiques et de l’ingénieur (Talence, Gironde)Abstract
Afin d'optimiser l'utilisation des micropoutres en tant que capteurs chimiques, de nouvelles couches sensibles à base de matériaux microporeux ont été testées pour la détection d'humidité, de toluène et d'éthanol. Des ...Read more >
Afin d'optimiser l'utilisation des micropoutres en tant que capteurs chimiques, de nouvelles couches sensibles à base de matériaux microporeux ont été testées pour la détection d'humidité, de toluène et d'éthanol. Des essais sans couches sensibles ont aussi été effectués et des modèles simples ont été mis au point afin de prédire la réponse des micropoutres lors d'un changement d'environnement. Ces études ont donc permis la mise en oeuvre des micropoutres selon deux principes de détections différents: l'un reposant sur la variation de masse du capteur à base de micropoutre lors de l'absorption de composé par une couche sensible; l'autre reposant sur la détection de changements de propriétés physiques du fluide environnant.Read less <
English Abstract
In order to optimize the use of microcantilever in the way of chemical sensing, microporous sensitive coatings have been tried to detect ethanol, toluene and humidity. The use of microcantilever without sensitive coating ...Read more >
In order to optimize the use of microcantilever in the way of chemical sensing, microporous sensitive coatings have been tried to detect ethanol, toluene and humidity. The use of microcantilever without sensitive coating have been performed and simple models has been made and permit to predict the response of microcantilever in different environments. These studies rely on the use of microcantilever within two different detection mode: the detection of mass variation of the sensor because of the sorption of species in sensitive coating; and the detection of the change of physical properties of the fluid.Read less <
Keywords
Détection
Capteurs chimiques
Micropoutres
Fréquence de résonance
Facteur de qualité
Zéolithes
English Keywords
Detection
Chemical sensors
Microcantilevers
Resonant frequency
Quality factor
Zeolites
Origin
STAR importedCollections