Thermomechanical Characterizations of Copper at Nanoscale by Laue Microdiffraction
AYOUB, Bassel
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
MOREAU, Stephane
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
AYOUB, Bassel
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
MOREAU, Stephane
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
CORNELIUS, Thomas W.
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
THOMAS, Olivier
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
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Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
Language
EN
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
This item was published in
Satellite European School for Young Scientists Microscopy and Materials Characterization, Satellite European School for Young Scientists Microscopy and Materials Characterization, 2022-10-12, Dresde. 2022-10-12
English Abstract
The investigation of copper microstructure at nanoscale using synchrotron-based Laue microdiffraction technique is presented. Based on the experimental findings, FEM simulations allow to extract the plastic behaviour ...Read more >
The investigation of copper microstructure at nanoscale using synchrotron-based Laue microdiffraction technique is presented. Based on the experimental findings, FEM simulations allow to extract the plastic behaviour dependence on the orientation for the single crystals. The results obtained are used to achieve Cu/SiO2 hybrid bonding with 300 nm Cu pads.Read less <
ANR Project
NANOELEC - ANR-10-AIRT-0005