Thermomechanical Characterizations of Copper at Nanoscale by Laue Microdiffraction
AYOUB, Bassel
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
MOREAU, Stephane
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
AYOUB, Bassel
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
STMicrolectronics/MPU [MPU]
Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
MOREAU, Stephane
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
CORNELIUS, Thomas W.
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
THOMAS, Olivier
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
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Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence [IM2NP]
Langue
EN
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
Ce document a été publié dans
Satellite European School for Young Scientists Microscopy and Materials Characterization, Satellite European School for Young Scientists Microscopy and Materials Characterization, 2022-10-12, Dresde. 2022-10-12
Résumé en anglais
The investigation of copper microstructure at nanoscale using synchrotron-based Laue microdiffraction technique is presented. Based on the experimental findings, FEM simulations allow to extract the plastic behaviour ...Lire la suite >
The investigation of copper microstructure at nanoscale using synchrotron-based Laue microdiffraction technique is presented. Based on the experimental findings, FEM simulations allow to extract the plastic behaviour dependence on the orientation for the single crystals. The results obtained are used to achieve Cu/SiO2 hybrid bonding with 300 nm Cu pads.< Réduire
Project ANR
NANOELEC - ANR-10-AIRT-0005
Unités de recherche