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Dynamical behavior of the scanning thermal microscope (SThM) thermal resistive probe studied using Si/SiGe microcoolers
Langue
en
Article de revue
Ce document a été publié dans
Superlattices and Microstructures. 2005-07-06, vol. 38, n° 1, p. 69-75
Elsevier
Résumé en anglais
We present a simple method for the characterization of the dynamical behavior of the SThM Wollaston wire thermal resistive probe using Si/SiGe microcoolers. Measurements show a time response of about 186 mu s. This value ...Lire la suite >
Mots clés en anglais
SThM technique
microcooler
Wollaston wire
SThM thermal probe time response
Tip-sample contact resistance
SThM technique