OPTICAL AMMETER FOR INTEGRATED-CIRCUIT CHARACTERIZATION AND FAILURE ANALYSIS
AUCOUTURIER, J. L.
Laboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL]
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Laboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL]
Langue
en
Article de revue
Ce document a été publié dans
Quality and Reliability Engineering International. 1995, vol. 11, n° 4, p. 247-251
Wiley
Résumé en anglais
The current which flows through the metal semiconductor interface of an ohmic contact produces a Peltier effect. This thermal effect has been optically detected and used for the development of an optical ammeter, the ...Lire la suite >
The current which flows through the metal semiconductor interface of an ohmic contact produces a Peltier effect. This thermal effect has been optically detected and used for the development of an optical ammeter, the determination of doping type of semiconductors and the homogeneity scanning upon integrated circuits.< Réduire
Origine
Importé de halUnités de recherche