Dispositif et procede pour la caracterisation d'echantillons par imagerie de spectroscopie PWR
Langue
EN
Brevet
Ce document a été publié dans
2018
Résumé en anglais
La présente invention concerne un dispositif et un procédé pour la mesure par spectroscopie d'un échantillon dans lequel on réalise les étapes suivantes: - envoyer un faisceau lumineux vers une surface (12) d'incidence ...Lire la suite >
La présente invention concerne un dispositif et un procédé pour la mesure par spectroscopie d'un échantillon dans lequel on réalise les étapes suivantes: - envoyer un faisceau lumineux vers une surface (12) d'incidence d'un capteur optique, ledit faisceau lumineux formant un angle d'incidence avec ladite surface d'incidence, ledit faisceau lumineux comportant des ondes électromagnétiques p-polarisées et des ondes électromagnétiques s-polarisées, - ledit capteur optique comprenant un prisme (13) comportant une surface de réflexion, un premier film (15) conducteur ou semi-conducteur et un deuxième film (16) diélectrique pour générer deux modes guidés, un premier desdits modes guidés étant généré pour des ondes électromagnétiques p-polarisées et pour un premier angle d'incidence Qi dudit faisceau lumineux sur ladite surface (12) d'incidence et un second desdits modes guidés étant généré pour les ondes électromagnétiques s-polarisés et pour un second angle d'incidence Ω2 dudit faisceau lumineux sur ladite surface (12) d'incidence, ledit capteur optique présentant une surface pour recevoir ledit échantillon à mesurer, - varier ledit angle d'incidence dudit faisceau lumineux par rapport à la surface (12) d'incidence dudit capteur optique pour générer lesdits modes guidés, et - pour chaque angle d'incidence Ωi, former l'image de ladite surface de réflexion sur un capteur d'image pour fournir des images bidimensionnelles de ladite surface de réflexion afin d'obtenir des informations optiques sur l'échantillon à mesurer.< Réduire
N° de brevet
3054320Unités de recherche