Hyperbranched Polymers for Photolithographic Applications - Towards Understanding the Relationship between Chemical Structure of Polymer Resin and Lithographic Performances
CHOCHOS, Christos L.
Ecole nationale supérieure de chimie, polymères et materiaux de strasbourg (ECPM)
Ecole nationale supérieure de chimie, polymères et materiaux de strasbourg (ECPM)
BROCHON, Cyril
Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
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Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
CHOCHOS, Christos L.
Ecole nationale supérieure de chimie, polymères et materiaux de strasbourg (ECPM)
Ecole nationale supérieure de chimie, polymères et materiaux de strasbourg (ECPM)
BROCHON, Cyril
Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
TIRON, Raluca
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
SOURD, Claire
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
BANDELIER, Philippe
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
BRAULT, Christophe
Ecole nationale supérieure de chimie, polymères et materiaux de strasbourg (ECPM)
Rohm et Haas Electronic Materials
Ecole nationale supérieure de chimie, polymères et materiaux de strasbourg (ECPM)
Rohm et Haas Electronic Materials
HADZIIOANNOU, Georges
Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
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Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
Langue
en
Article de revue
Ce document a été publié dans
Advanced Materials. 2009, vol. 21, n° 10-11, p. 1121-1125
Wiley-VCH Verlag
Résumé en anglais
A chemically amplified resist based on a hyperbranched polymer resin is demonstrated for the first time. The hyperbranched polymer is synthesized using the atom-transfer radical polymerization (ATRP) technique, and resists ...Lire la suite >
A chemically amplified resist based on a hyperbranched polymer resin is demonstrated for the first time. The hyperbranched polymer is synthesized using the atom-transfer radical polymerization (ATRP) technique, and resists prepared from this hyperbranched polymer present good pattern profiles and line-edge roughness (3 sigma) values comparable to those of the reference (commercial) resist.< Réduire
Mots clés en anglais
AMPLIFICATION
SCANNING PROBE LITHOGRAPHY
ATOMIC-FORCE MICROSCOPY
RADICAL POLYMERIZATION
RAFT POLYMERIZATION
NM LITHOGRAPHY
END-GROUPS
MICROLITHOGRAPHY
PHOTORESISTS
COPOLYMERS
Origine
Importé de halUnités de recherche