Graphoepitaxy integration and pattern transfer of lamellar silicon-containing high-chi block copolymers
TIRON, Raluca
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Langue
en
Communication dans un congrès avec actes
Ce document a été publié dans
Proc. SPIE, SPIE Advanced Lithography, 2018, San José. vol. 105890C
Origine
Importé de halUnités de recherche