Graphoepitaxy integration and pattern transfer of lamellar silicon-containing high-chi block copolymers
dc.rights.license | open | |
hal.structure.identifier | Laboratoire des technologies de la microélectronique [LTM ] | |
dc.contributor.author | ZELSMANN, Marc | |
hal.structure.identifier | Laboratoire des technologies de la microélectronique [LTM ] | |
dc.contributor.author | BÉZARD, Philippe | |
hal.structure.identifier | Arkema [Arkema] | |
dc.contributor.author | CHEVALIER, Xavier | |
dc.contributor.author | LEGRAIN, Antoine | |
dc.contributor.author | NAVARRO, Christophe | |
dc.contributor.author | NICOLET, Célia | |
hal.structure.identifier | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO] | |
dc.contributor.author | FLEURY, Guillaume | |
dc.contributor.author | CAYREFOURCQ, Ian | |
hal.structure.identifier | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI] | |
dc.contributor.author | TIRON, Raluca | |
dc.contributor.author | ENGELMANN, Sebastian | |
dc.contributor.author | WISE, Richard | |
dc.date.accessioned | 2020 | |
dc.date.available | 2020 | |
dc.date.conference | 2018 | |
dc.identifier.uri | https://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/19939 | |
dc.language.iso | en | |
dc.source.title | Proc. SPIE | |
dc.title.en | Graphoepitaxy integration and pattern transfer of lamellar silicon-containing high-chi block copolymers | |
dc.type | Communication dans un congrès avec actes | |
dc.identifier.doi | 10.1117/12.2299337 | |
dc.subject.hal | Physique [physics] | |
bordeaux.volume | 105890C | |
bordeaux.hal.laboratories | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO) - UMR 5629 | * |
bordeaux.institution | Bordeaux INP | |
bordeaux.institution | Université de Bordeaux | |
bordeaux.country | US | |
bordeaux.title.proceeding | SPIE Advanced Lithography | |
bordeaux.conference.city | San José | |
bordeaux.peerReviewed | oui | |
hal.identifier | hal-01954390 | |
hal.version | 1 | |
hal.origin.link | https://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01954390v1 | |
bordeaux.COinS | ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.btitle=Proc.%20SPIE&rft.volume=105890C&rft.au=ZELSMANN,%20Marc&B%C3%89ZARD,%20Philippe&CHEVALIER,%20Xavier&LEGRAIN,%20Antoine&NAVARRO,%20Christophe&rft.genre=proceeding |
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