GRAUBY, S.; SALHI, A.; RAMPNOUX, Jean-Michel; MICHEL, Hélène; CLAEYS, W.; DILHAIRE, S.

doi:10.1063/1.2757473

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GRAUBY, S.
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

SALHI, A.
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

RAMPNOUX, Jean-Michel
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

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Review of Scientific Instruments. 2007-07, vol. 78, n° 7, p. 074902 (1-8)

American Institute of Physics

Résumé en anglais

We present a thermoreflectance imaging system using a focused laser sweeping the device under test with a scanner made of galvanometric mirrors. We first show that the spatial resolution of this setup is submicrometric, which makes it adapted to microelectronic thermal measurements. Then, we studied qualitative temperature variations on two dissipative structures constituted of thin (0.35μm) dissipative resistors, the distance between two resistors being equal to 0.8 or 10μm. This technique combines sensitivity and speed: it is faster than a point classical thermoreflectance technique and, in addition, more sensitive than a charge-coupled device thermoreflectance imaging technique.< Réduire

Mots clés en anglais

Charge coupled devices

Reflectivity

Optical images

Clocks

Spatial resolution

Thermal imaging

Mirrors

Resistors

Photodiodes

Amplifiers

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Laser scanning thermoreflectance imaging system using galvanometric mirrors for temperature measurements of microelectronic devices

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