Joule expansion imaging techniques on microlectronic devices

GRAUBY, Stéphane; PATINO LOPEZ, Luis-David; SALHI, Amine; PUYOO, Etienne; RAMPNOUX, Jean-Michel; CLAEYS, Wilfrid; DILHAIRE, Stefan

doi:10.1016/j.mejo.2008.04.016

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GRAUBY, Stéphane
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

PATINO LOPEZ, Luis-David
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

SALHI, Amine
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

Idioma

Article de revue

Este ítem está publicado en

Microelectronics Journal. 2009-09, vol. 40, n° 9, p. 1367-1372

Elsevier

Resumen en inglés

We have studied the electrically induced off-plane surface displacement on two microelectronic devices using scanning Joule expansion microscopy (SJEM). We present the experimental method and surface displacement results. We show that they can be successfully compared with surface displacement images obtained using an optical interferometry method. We also present thermal images using scanning thermal microscopy (SThM) technique to underline that SJEM is more adapted to higher frequency measurements. The performances of the three methods are compared.< Leer menos

Palabras clave

Microelectronic devices

Temperature variations

Joule expansion

Displacement

DOI

http://dx.doi.org/10.1016/j.mejo.2008.04.016

Proyecto ANR

Conception, fabrication et EXploration d'un TRAnsistor nanométrique sur un SOI avec un Diélectrique Alternatif contraint à forte conductivité thermique - ANR-06-NANO-0042

Orígen

Importado de Hal

Centros de investigación

Laboratoire Ondes et Matière d'Aquitaine (LOMA) - UMR 5798