Joule expansion imaging techniques on microlectronic devices

GRAUBY, Stéphane; PATINO LOPEZ, Luis-David; SALHI, Amine; PUYOO, Etienne; RAMPNOUX, Jean-Michel; CLAEYS, Wilfrid; DILHAIRE, Stefan

doi:10.1016/j.mejo.2008.04.016

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GRAUBY, Stéphane
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

PATINO LOPEZ, Luis-David
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

SALHI, Amine
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

Langue

Article de revue

Ce document a été publié dans

Microelectronics Journal. 2009-09, vol. 40, n° 9, p. 1367-1372

Elsevier

Résumé en anglais

We have studied the electrically induced off-plane surface displacement on two microelectronic devices using scanning Joule expansion microscopy (SJEM). We present the experimental method and surface displacement results. We show that they can be successfully compared with surface displacement images obtained using an optical interferometry method. We also present thermal images using scanning thermal microscopy (SThM) technique to underline that SJEM is more adapted to higher frequency measurements. The performances of the three methods are compared.< Réduire

Mots clés

Microelectronic devices

Temperature variations

Joule expansion

Displacement

DOI

http://dx.doi.org/10.1016/j.mejo.2008.04.016

Project ANR

Conception, fabrication et EXploration d'un TRAnsistor nanométrique sur un SOI avec un Diélectrique Alternatif contraint à forte conductivité thermique - ANR-06-NANO-0042

Origine

Importé de hal

Unités de recherche

Laboratoire Ondes et Matière d'Aquitaine (LOMA) - UMR 5798