HIRSCH, L.; TARDY, P.; WANTZ, G.; HUBY, N.; MORETTO, P.; SERANI, L.; NATALI, F.; DAMILANO, B.; DUBOZ, J.Y.; REVERCHON, J.L.

doi:10.1016/j.nimb.2005.06.127

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Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B, 2004-09-20, Paris. 2005, vol. 240, p. 265-270

Elsevier

Résumé en anglais

In this paper we describe the structure and the composition of (Al,Ga)N/GaN Bragg reflectors obtained from Rutherford backscattering spectroscopy. Bragg reflectors constitute a part of blue ($\lambda$ = 450 nm) resonant cavity light emitting diodes. To improve the measurement accuracy, three tilt angles have been used (10\degres, 25\degres and 50\degres). In a second part of the paper, ion beam induced charges study has been carried out, with a 2 MeV $^4$He$^+$ micro-beam, on metal–semiconductor–metal UV photodetectors. Results have been taken into account for the design of the photodetector electrodes.< Réduire

Mots clés en anglais

RBs

IBIC

ALGaN

UV detectors

Bragg reflectors

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Light-ion beam for microelectronic applications

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