Preparation and characterization of new transparent conducting oxides based on SNO2 and IN2O3 : ceramics and thin films

Abstract

Les "Oxydes Transparents et Conducteurs" (TCOs) possèdent une conductivité de type métallique tout en conservant, à l’état de films minces, une absorption négligeable dans tout le domaine visible. Malgré les recherches intensives menées durant ces 35 dernières années, il est nécessaire d’obtenir des TCOs avec de meilleures performances afin de répondre aux exigences des nouveaux dispositifs opto-électroniques. C’est dans cette optique que nous avons étudié les TCOs suivants sous forme de céramiques et de couches minces : (i) ATO et AZTO (symbolisant respectivement l’oxyde d’étain dopé à l’antimoine et l’oxyde d’étain co-dopé à l'antimoine et au zinc); (ii) IO (symbolisant l’oxyde d’indium) dopé avec des éléments spécifiques (résultats confidentiels) qui confèrent un conductivité électronique remarquable même lorsque le dépôt est réalisé sur substrat plastique. Dans le cas de AZTO, le co-dopage nous a permis d’obtenir des céramiques très denses et conductrices, sans perte d’antimoine lors du frittage. Par ailleurs, la conductivité électronique des films minces AZTO peut être modulée grâce au co-dopage. Ainsi, nous pouvons proposé de nouveaux TCOs présentant des performances adaptées aux besoins d’applications spécifiques.