La plateforme OSKAR Bordeaux évolue pour rejoindre l'archive ouverte HAL. Retrouvez tous vos dépôts sur le nouveau portail HAL UB : https://u-bordeaux.hal.science/. Pour toute aide ou information, contactez-nous info@oskar-bordeaux.fr.
Gas Phase Deposition and Characterization of (Si)-B-C Ceramics
Langue
EN
Communication dans un congrès
Ce document a été publié dans
216th ECS Meeting, 2009-10, Vienna. 2009, vol. 25, n° 8, p. 15-21
ECS
Résumé en anglais
B-C and Si-B-C coatings have been prepared by chemical vapour deposition (CVD) respectively from CH4/BCl3/H2 and MTS/BCl3/H2 precursor mixtures at low temperature (800-1050{degree sign}C) and reduced pressure (12kPa). The ...Lire la suite >