DILHAIRE, S.; GRAUBY, Stéphane; JOREZ, S.; LOPEZ, L. D. P.; RAMPNOUX, Jean-Michel; CLAEYS, W.

doi:10.1364/AO.41.004996

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DILHAIRE, S.
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

GRAUBY, Stéphane
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

JOREZ, S.
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

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Applied optics. 2002-08-20, vol. 41, n° 24, p. 4996-5001

Optical Society of America

Résumé en anglais

We present an imaging technique to measure static surface displacements of electronic components. A device is supplied by a transient current that creates a variation of temperature, thus a surface displacement. To measure the latter, a setup that is based on a Michelson interferometer is used. To avoid the phenomenon of speckle and the drawbacks inherent to it, we use a light emitting diode as the light source for the interferometer. The detector is a visible CCD camera that analyzes the optical signal containing the information of surface displacement of the device. Combining images, we extract the amplitude of the surface displacement. Out-of-plane surface-displacement images of a thermoelectric device are presented.< Réduire

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Surface displacement imaging by interferometry with a light emitting diode

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