Développement de microcapteurs chimiques à base de micorpoutres dédiés au contrôle dela qualité de l'air : détection temps réel de composés organiques volatils (COV)

Abstract

Dans le but d’améliorer la limite de détection des capteurs chimiques à base de micropoutres, ces travaux ont permis de mettre en évidence différents moyens d’optimisation de ces capteurs. En ne se limitant pas à l’étude de la sensibilité et en incluant les notions de bruit de mesure, des règles de conception ont été établies. Ainsi, l’étude des pertes dans les micropoutres et l’étude de l’influence des propriétés viscoélastiques de la couche sensible sur ces micropoutres ont permis d’avoir une meilleure connaissance du bruit de mesure. Les modèles développés ont été confrontés à des essais de caractérisation et à des détections d’éthanol et de toluène. Les résultats obtenus ont permis de valider ces modèles et ouvrent donc la voie à une conception plus éclairée de ces capteurs chimiques.