Photolithographic patterning of high-k fluoropolymer dielectrics
| dc.rights.license | open | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO] | |
| hal.structure.identifier | Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies | |
| dc.contributor.author | KALLITSIS, Konstantinos | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS] | |
| dc.contributor.author | THUAU, Damien | |
| hal.structure.identifier | Piezotech SAS [Piezotech SAS] | |
| dc.contributor.author | SOULESTIN, Thibaut | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO] | |
| hal.structure.identifier | Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies | |
| dc.contributor.author | CLOUTET, Eric
IDREF: 151048681 | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO] | |
| hal.structure.identifier | Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies | |
| dc.contributor.author | BROCHON, Cyril | |
| hal.structure.identifier | Piezotech SAS [Piezotech SAS] | |
| dc.contributor.author | DOMINGUES-DOS SANTOS, Fabrice | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO] | |
| hal.structure.identifier | Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies | |
| dc.contributor.author | HADZIIOANNOU, Georges | |
| dc.date.accessioned | 2020 | |
| dc.date.available | 2020 | |
| dc.date.conference | 2019 | |
| dc.identifier.uri | https://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/19727 | |
| dc.language.iso | en | |
| dc.title.en | Photolithographic patterning of high-k fluoropolymer dielectrics | |
| dc.type | Communication dans un congrès avec actes | |
| dc.subject.hal | Physique [physics] | |
| dc.subject.hal | Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat] | |
| dc.subject.hal | Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Science des matériaux [cond-mat.mtrl-sci] | |
| bordeaux.hal.laboratories | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO) - UMR 5629 | * |
| bordeaux.institution | Bordeaux INP | |
| bordeaux.institution | Université de Bordeaux | |
| bordeaux.country | FR | |
| bordeaux.title.proceeding | European Polymer Congress EPF 2019 | |
| bordeaux.conference.city | Heraklion | |
| bordeaux.peerReviewed | oui | |
| hal.identifier | hal-02481970 | |
| hal.version | 1 | |
| hal.origin.link | https://hal.archives-ouvertes.fr//hal-02481970v1 | |
| bordeaux.COinS | ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.au=KALLITSIS,%20Konstantinos&THUAU,%20Damien&SOULESTIN,%20Thibaut&CLOUTET,%20Eric&BROCHON,%20Cyril&rft.genre=proceeding |
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