Photolithographic patterning of high-k fluoropolymer dielectrics
KALLITSIS, Konstantinos
Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
Team 4 LCPO : Polymer Materials for Electronic, Energy, Information and Communication Technologies
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KALLITSIS, Konstantinos
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CLOUTET, Eric
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BROCHON, Cyril
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HADZIIOANNOU, Georges
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Langue
en
Communication dans un congrès avec actes
Ce document a été publié dans
European Polymer Congress EPF 2019, 2019, Heraklion.
Origine
Importé de halUnités de recherche