Application of picosecond ultrasonics to non-destructive analysis in VLSI circuits
hal.structure.identifier | Laboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL] | |
dc.contributor.author | ANDRIAMONJE, G. | |
hal.structure.identifier | Laboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL] | |
dc.contributor.author | POUGET, V. | |
hal.structure.identifier | Laboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL] | |
dc.contributor.author | OUSTEN, Y. | |
hal.structure.identifier | Laboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL] | |
dc.contributor.author | LEWIS, D. | |
hal.structure.identifier | Laboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL] | |
dc.contributor.author | DANTO, Y. | |
hal.structure.identifier | Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH] | |
dc.contributor.author | RAMPNOUX, Jean-Michel | |
hal.structure.identifier | Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH] | |
dc.contributor.author | EZZAHRI, Y. | |
hal.structure.identifier | Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH] | |
dc.contributor.author | DILHAIRE, S. | |
hal.structure.identifier | Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH] | |
dc.contributor.author | GRAUBY, Stéphane | |
hal.structure.identifier | Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH] | |
dc.contributor.author | CLAEYS, W. | |
hal.structure.identifier | Laboratoire de Mécanique Physique [LMP] | |
dc.contributor.author | ROSSIGNOL, C. | |
hal.structure.identifier | Laboratoire de Mécanique Physique [LMP] | |
dc.contributor.author | AUDOIN, Bertrand | |
dc.date.issued | 2003-09 | |
dc.identifier.issn | 0026-2714 | |
dc.description.abstractEn | Picosecond ultrasonics is an optical non-destructive technique based on ultrasound generation and detection by ultrashort laser pulses. We demonstrate the efficiency of this technique for material characterization in VLSI circuits, and show the influence of the laser pulse duration on acoustic generation and detection. | |
dc.language.iso | en | |
dc.publisher | Elsevier | |
dc.title.en | Application of picosecond ultrasonics to non-destructive analysis in VLSI circuits | |
dc.type | Article de revue | |
dc.identifier.doi | 10.1016/s0026-2714(03)00307-x | |
dc.subject.hal | Physique [physics] | |
bordeaux.journal | Microelectronics Reliability | |
bordeaux.page | 1803-1807 | |
bordeaux.volume | 43 | |
bordeaux.issue | 9-11 | |
bordeaux.peerReviewed | oui | |
hal.identifier | hal-01550917 | |
hal.version | 1 | |
hal.popular | non | |
hal.audience | Internationale | |
hal.origin.link | https://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01550917v1 | |
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