Reduction of the cantilever hydrodynamic damping near a surface by ion-beam milling
MARIOLLE, D.
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
BERTIN, F.
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
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Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
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en
Article de revue
Ce document a été publié dans
Journal of Applied Physics. 2006, vol. 99, n° 2, p. 6
American Institute of Physics
Résumé en anglais
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Origine
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