Determination of Thermophysical Properties of Si/SiGe Superlattices with a Pump-Probe Technique
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Communication dans un congrès
Ce document a été publié dans
THERMINIC 2005, 2005-09, Belgirate, Lago Maggiore. 2005-09p. 235-243
TIMA Editions
Résumé en anglais
A Time Domain Thermo-Reflectance technique (TDTR) is used for the non-destructive evaluation of thermal and acoustic properties of Si/SiGe superlattices (SL) at room temperature. In particular, this technique allows the ...Lire la suite >
Mots clés en anglais
Superlattice
thermal properties
thermal modeling
pump probe femtosecond technique
thermoreflectance