BELLEC, Matthieu; ROYON, Arnaud; BOUSQUET, Bruno; BOURHIS, Kevin; TRÉGUER-DELAPIERRE, Mona; CARDINAL, Thierry; RICHARDSON, Martin; CANIONI, Lionel

doi:10.1364/OE.17.010304

Métadonnées

Afficher la notice complète

Licence d’utilisation du document

http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/

BELLEC, Matthieu
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

ROYON, Arnaud
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

BOUSQUET, Bruno
Centre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]

Langue

Article de revue

Ce document a été publié dans

Optics Express. 2009, vol. 17, n° 12, p. 10304-10318

Optical Society of America - OSA Publishing

Résumé en anglais

Three-dimensional (3D) femtosecond laser direct structuring in transparent materials is widely used for photonic applications. However, the structure size is limited by the optical diffraction. Here we report on a direct laser writing technique that produces subwavelength nanostructures independently of the experimental limiting factors. We demonstrate 3D nanostructures of arbitrary patterns with feature sizes down to 80 nm, less than one tenth of the laser processing wavelength. Its ease of implementation for novel nanostructuring, with its accompanying high precision will open new opportunities for the fabrication of nanostructures for plasmonic and photonic devices and for applications in metamaterials.< Réduire

Mots clés en anglais

Nonlinear optics

Photosensitive materials

Laser

Glass

Femtosecond phenomena

Métadonnées

Licence d’utilisation du document

Beat the diffraction limit in 3D direct laser writing in photosensitive glass

Langue

Ce document a été publié dans

Résumé en anglais

Mots clés en anglais

DOI

Origine

Unités de recherche