WALTER, Benjamin; FAUCHER, Marc; ALGRE, Emmanuelle; LEGRAND, Bernard; BOISGARD, Rodolphe; AIMÉ, Jean-Pierre; BUCHAILLOT, Lionel

doi:10.1088/0960-1317/19/11/115009

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WALTER, Benjamin
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

FAUCHER, Marc
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

ALGRE, Emmanuelle
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Langue

Article de revue

Ce document a été publié dans

Journal of Micromechanics and Microengineering. 2009-10-05, vol. 19, n° 11, p. 115009-1-7

IOP Publishing

Résumé en anglais

We present an integrated force probe based on a silicon bulk-mode MEMS resonator. This device uses a silicon ring with symmetrical tips vibrating in the elliptic vibration mode. The tips enable us to make mechanical interactions with surfaces or external objects. Both excitation and detection of the resonator are integrated thanks to electrostatic actuation and capacitive detection. Apart from optical and electrical characterizations of the fabricated device, we report for the first time on the interaction between the resonator tip and a hydrodynamic force applied thanks to a water droplet. This demonstrates a first step toward high frequency atomic force probes for liquid medium applications.< Réduire

DOI

http://dx.doi.org/10.1088/0960-1317/19/11/115009

Projet Européen

Scanning Microscopy using Active Resonating nanoTips

Origine

Importé de hal

Unités de recherche

Laboratoire Ondes et Matière d'Aquitaine (LOMA) - UMR 5798