High Temperature Thermal Conductivity of Amorphous Al 2 O 3 Thin Films Grown by Low Temperature ALD
| dc.contributor.author | CAPPELLA, Andrea | |
| hal.structure.identifier | Transferts, écoulements, fluides, énergétique [TREFLE] | |
| dc.contributor.author | BATTAGLIA, Jean-Luc
IDREF: 084712562 | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire d'Energétique et Mécanique Théorique et Appliquée [LEMTA ] | |
| dc.contributor.author | SCHICK, Vincent | |
| hal.structure.identifier | Transferts, écoulements, fluides, énergétique [TREFLE] | |
| dc.contributor.author | KUSIAK, Andrzej
IDREF: 084712899 | |
| dc.contributor.author | LAMPERTI, Alessio | |
| hal.structure.identifier | Istituto per la Microelettronica e Microsistemi [Catania] [IMM] | |
| dc.contributor.author | WIEMER, Claudia | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire National de Métrologie et d'Essais [Trappes] [LNE ] | |
| dc.contributor.author | HAY, Bruno | |
| dc.date.accessioned | 2021-05-14T09:37:03Z | |
| dc.date.available | 2021-05-14T09:37:03Z | |
| dc.date.issued | 2013-11 | |
| dc.identifier.issn | 1438-1656 | |
| dc.identifier.uri | https://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/76332 | |
| dc.language.iso | en | |
| dc.publisher | Wiley-VCH Verlag | |
| dc.title.en | High Temperature Thermal Conductivity of Amorphous Al 2 O 3 Thin Films Grown by Low Temperature ALD | |
| dc.type | Article de revue | |
| dc.identifier.doi | 10.1002/adem.201300132 | |
| dc.subject.hal | Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Thermique [physics.class-ph] | |
| bordeaux.journal | Advanced Engineering Materials | |
| bordeaux.page | 1046-1050 | |
| bordeaux.volume | 15 | |
| bordeaux.hal.laboratories | Institut de Mécanique et d’Ingénierie de Bordeaux (I2M) - UMR 5295 | * |
| bordeaux.issue | 11 | |
| bordeaux.institution | Université de Bordeaux | |
| bordeaux.institution | Bordeaux INP | |
| bordeaux.institution | CNRS | |
| bordeaux.institution | INRAE | |
| bordeaux.institution | Arts et Métiers | |
| bordeaux.peerReviewed | oui | |
| hal.identifier | hal-02441613 | |
| hal.version | 1 | |
| hal.origin.link | https://hal.archives-ouvertes.fr//hal-02441613v1 | |
| bordeaux.COinS | ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.jtitle=Advanced%20Engineering%20Materials&rft.date=2013-11&rft.volume=15&rft.issue=11&rft.spage=1046-1050&rft.epage=1046-1050&rft.eissn=1438-1656&rft.issn=1438-1656&rft.au=CAPPELLA,%20Andrea&BATTAGLIA,%20Jean-Luc&SCHICK,%20Vincent&KUSIAK,%20Andrzej&LAMPERTI,%20Alessio&rft.genre=article |
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