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High Temperature Thermal Conductivity of Amorphous Al 2 O 3 Thin Films Grown by Low Temperature ALD

dc.contributor.authorCAPPELLA, Andrea
hal.structure.identifierTransferts, écoulements, fluides, énergétique [TREFLE]
dc.contributor.authorBATTAGLIA, Jean-Luc
IDREF: 084712562
hal.structure.identifierLaboratoire d'Energétique et Mécanique Théorique et Appliquée [LEMTA ]
dc.contributor.authorSCHICK, Vincent
hal.structure.identifierTransferts, écoulements, fluides, énergétique [TREFLE]
dc.contributor.authorKUSIAK, Andrzej
IDREF: 084712899
dc.contributor.authorLAMPERTI, Alessio
hal.structure.identifierIstituto per la Microelettronica e Microsistemi [Catania] [IMM]
dc.contributor.authorWIEMER, Claudia
hal.structure.identifierLaboratoire National de Métrologie et d'Essais [Trappes] [LNE ]
dc.contributor.authorHAY, Bruno
dc.date.accessioned2021-05-14T09:37:03Z
dc.date.available2021-05-14T09:37:03Z
dc.date.issued2013-11
dc.identifier.issn1438-1656
dc.identifier.urihttps://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/76332
dc.language.isoen
dc.publisherWiley-VCH Verlag
dc.title.enHigh Temperature Thermal Conductivity of Amorphous Al 2 O 3 Thin Films Grown by Low Temperature ALD
dc.typeArticle de revue
dc.identifier.doi10.1002/adem.201300132
dc.subject.halSciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Thermique [physics.class-ph]
bordeaux.journalAdvanced Engineering Materials
bordeaux.page1046-1050
bordeaux.volume15
bordeaux.hal.laboratoriesInstitut de Mécanique et d’Ingénierie de Bordeaux (I2M) - UMR 5295*
bordeaux.issue11
bordeaux.institutionUniversité de Bordeaux
bordeaux.institutionBordeaux INP
bordeaux.institutionCNRS
bordeaux.institutionINRAE
bordeaux.institutionArts et Métiers
bordeaux.peerReviewedoui
hal.identifierhal-02441613
hal.version1
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-02441613v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.jtitle=Advanced%20Engineering%20Materials&rft.date=2013-11&rft.volume=15&rft.issue=11&rft.spage=1046-1050&rft.epage=1046-1050&rft.eissn=1438-1656&rft.issn=1438-1656&rft.au=CAPPELLA,%20Andrea&BATTAGLIA,%20Jean-Luc&SCHICK,%20Vincent&KUSIAK,%20Andrzej&LAMPERTI,%20Alessio&rft.genre=article


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