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Graphoepitaxy integration and pattern transfer of lamellar silicon-containing high-chi block copolymers

dc.rights.licenseopen
hal.structure.identifierLaboratoire des technologies de la microélectronique [LTM ]
dc.contributor.authorZELSMANN, Marc
hal.structure.identifierLaboratoire des technologies de la microélectronique [LTM ]
dc.contributor.authorBÉZARD, Philippe
hal.structure.identifierArkema [Arkema]
dc.contributor.authorCHEVALIER, Xavier
dc.contributor.authorLEGRAIN, Antoine
dc.contributor.authorNAVARRO, Christophe
dc.contributor.authorNICOLET, Célia
hal.structure.identifierLaboratoire de Chimie des Polymères Organiques [LCPO]
dc.contributor.authorFLEURY, Guillaume
dc.contributor.authorCAYREFOURCQ, Ian
hal.structure.identifierCommissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
dc.contributor.authorTIRON, Raluca
dc.contributor.authorENGELMANN, Sebastian
dc.contributor.authorWISE, Richard
dc.date.accessioned2020
dc.date.available2020
dc.date.conference2018
dc.identifier.urihttps://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/19939
dc.language.isoen
dc.source.titleProc. SPIE
dc.title.enGraphoepitaxy integration and pattern transfer of lamellar silicon-containing high-chi block copolymers
dc.typeCommunication dans un congrès avec actes
dc.identifier.doi10.1117/12.2299337
dc.subject.halPhysique [physics]
bordeaux.volume105890C
bordeaux.hal.laboratoriesLaboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO) - UMR 5629*
bordeaux.institutionBordeaux INP
bordeaux.institutionUniversité de Bordeaux
bordeaux.countryUS
bordeaux.title.proceedingSPIE Advanced Lithography
bordeaux.conference.citySan José
bordeaux.peerReviewedoui
hal.identifierhal-01954390
hal.version1
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01954390v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.btitle=Proc.%20SPIE&rft.volume=105890C&rft.au=ZELSMANN,%20Marc&B%C3%89ZARD,%20Philippe&CHEVALIER,%20Xavier&LEGRAIN,%20Antoine&NAVARRO,%20Christophe&rft.genre=proceeding


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