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Application of picosecond ultrasonics to non-destructive analysis in VLSI circuits

hal.structure.identifierLaboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL]
dc.contributor.authorANDRIAMONJE, G.
hal.structure.identifierLaboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL]
dc.contributor.authorPOUGET, V.
hal.structure.identifierLaboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL]
dc.contributor.authorOUSTEN, Y.
hal.structure.identifierLaboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL]
dc.contributor.authorLEWIS, D.
hal.structure.identifierLaboratoire d'études de l'intégration des composants et systèmes électroniques [IXL]
dc.contributor.authorDANTO, Y.
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorRAMPNOUX, Jean-Michel
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorEZZAHRI, Y.
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorDILHAIRE, S.
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorGRAUBY, Stéphane
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorCLAEYS, W.
hal.structure.identifierLaboratoire de Mécanique Physique [LMP]
dc.contributor.authorROSSIGNOL, C.
hal.structure.identifierLaboratoire de Mécanique Physique [LMP]
dc.contributor.authorAUDOIN, Bertrand
dc.date.issued2003-09
dc.identifier.issn0026-2714
dc.description.abstractEnPicosecond ultrasonics is an optical non-destructive technique based on ultrasound generation and detection by ultrashort laser pulses. We demonstrate the efficiency of this technique for material characterization in VLSI circuits, and show the influence of the laser pulse duration on acoustic generation and detection.
dc.language.isoen
dc.publisherElsevier
dc.title.enApplication of picosecond ultrasonics to non-destructive analysis in VLSI circuits
dc.typeArticle de revue
dc.identifier.doi10.1016/s0026-2714(03)00307-x
dc.subject.halPhysique [physics]
bordeaux.journalMicroelectronics Reliability
bordeaux.page1803-1807
bordeaux.volume43
bordeaux.issue9-11
bordeaux.peerReviewedoui
hal.identifierhal-01550917
hal.version1
hal.popularnon
hal.audienceInternationale
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01550917v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.jtitle=Microelectronics%20Reliability&rft.date=2003-09&rft.volume=43&rft.issue=9-11&rft.spage=1803-1807&rft.epage=1803-1807&rft.eissn=0026-2714&rft.issn=0026-2714&rft.au=ANDRIAMONJE,%20G.&POUGET,%20V.&OUSTEN,%20Y.&LEWIS,%20D.&DANTO,%20Y.&rft.genre=article


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