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Structural and optical properties of TiO2 thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition

dc.contributor.authorSCHNEIDER, Thomas
hal.structure.identifierRCMO [RCMO]
dc.contributor.authorBEGOU, Thomas
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
hal.structure.identifierInstitut National de Recherche et d'Analyse Physico-Chimique [INRAP]
dc.contributor.authorSOUSSOU, A.
hal.structure.identifierInstitut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
dc.contributor.authorGOULLET, Antoine
hal.structure.identifierInstitut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
dc.contributor.authorBESLAND, Marie-Paule
hal.structure.identifierInstitut universitaire de France [IUF]
hal.structure.identifierInstitut de Physique de Rennes [IPR]
dc.contributor.authorBÊCHE, Bruno
hal.structure.identifierInstitut des Matériaux Jean Rouxel [IMN]
dc.contributor.authorGRANIER, Agnès
dc.date.conference2007
dc.language.isoen
dc.title.enStructural and optical properties of TiO2 thin films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
dc.typeCommunication dans un congrès
dc.subject.halSciences de l'ingénieur [physics]/Plasmas
dc.subject.halSciences de l'ingénieur [physics]/Matériaux
dc.subject.halSciences de l'ingénieur [physics]/Optique / photonique
bordeaux.countryFR
bordeaux.conference.cityToulouse
bordeaux.peerReviewedoui
hal.identifierhal-01552421
hal.version1
hal.invitednon
hal.proceedingsnon
hal.popularnon
hal.audienceInternationale
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01552421v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.au=SCHNEIDER,%20Thomas&BEGOU,%20Thomas&SOUSSOU,%20A.&GOULLET,%20Antoine&BESLAND,%20Marie-Paule&rft.genre=unknown


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