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dc.contributor.authorMARINIER, G.
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorDILHAIRE, Stefan
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorLOPEZ, L. D. P.
dc.contributor.authorBENZOHRA, M.
dc.contributor.editorChiao
dc.contributor.editorJ. C. and Varadan
dc.contributor.editorV. K. and Cane
dc.contributor.editorC.
dc.date.issued2003
dc.identifier.isbn0-8194-4976-8
dc.language.isoen
dc.source.titleSmart Sensors, Actuators, and Mems, Pts 1 and 2
dc.title.enDynamic characterization of SiO2-Au microcantilevers using Michelson interferometer
dc.typeChapitre d'ouvrage
dc.identifier.doi10.1117/12.498827
dc.subject.halPhysique [physics]
bordeaux.page406-413
bordeaux.volume5116
bordeaux.title.proceedingSmart Sensors, Actuators, and Mems, Pts 1 and 2
hal.identifierhal-01840912
hal.version1
hal.popularnon
hal.audienceInternationale
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01840912v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.btitle=Smart%20Sensors,%20Actuators,%20and%20Mems,%20Pts%201%20and%202&rft.date=2003&rft.volume=5116&rft.spage=406-413&rft.epage=406-413&rft.au=MARINIER,%20G.&DILHAIRE,%20Stefan&LOPEZ,%20L.%20D.%20P.&BENZOHRA,%20M.&rft.isbn=0-8194-4976-8&rft.genre=unknown


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