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Étude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant. Application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique

dc.contributor.advisorGérard Demazeau
dc.contributor.advisorBernard Tanguy
hal.structure.identifierInstitut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux [ICMCB]
dc.contributor.authorMICHAU, Dominique
dc.identifier.nnt1995BOR10693
dc.description.abstractEn utilisant une démarche de type "Chimie du Solide", le rôle des principaux facteurs caractérisant la surface du substrat (composition chimique, structure et liaisons chimiques) sur la germination de cristallites de diamant, ainsi que leur morphologie, a ete mis en évidence. La densité de nucléation et le rapport Csp2/Csp3 ont pu notamment etre corrélés a la diffusion du carbone dans le substrat. Afin de contrôler celle-ci, des couches superficielles de composes covalents tels que les nitrures et les borures ont été utilisées. Elles ont permis d'atteindre des densités très importantes de nucléi de diamant pour des temps de dépôt relativement courts. L'ensemble des résultats concernant le dépôt par hétéroépitaxie du diamant a permis de proposer une méthodologie au niveau du choix du substrat et des espèces réactives pour l'obtention de couches minces de nitrure de bore cubique.
dc.description.abstractEnUsing a “Solid State Chemistry” type approach, the role of the main factors characterizing the surface of the substrate (chemical composition, structure and chemical bonds) on the germination of diamond crystallites, as well as their morphology, was highlighted. The nucleation density and the Csp2/Csp3 ratio could in particular be correlated with the diffusion of carbon in the substrate. To control this, surface layers of covalent compounds such as nitrides and borides were used. They made it possible to achieve very high densities of diamond nuclei for relatively short deposition times. All the results concerning the deposition by heteroepitaxy of diamond made it possible to propose a methodology in terms of the choice of substrate and reactive species for obtaining thin layers of cubic boron nitride.
dc.language.isofr
dc.subjectCouche mince
dc.subjectCVD
dc.subjectDiamant
dc.subjectSubstrat
dc.subjectBore nitrure
dc.subjectComposé binaire
dc.subjectRéseau cubique
dc.subjectGermination cristalline
dc.subjectCroissance cristalline en phase vapeur
dc.subjectCarbone
dc.subjectDiffusion transport
dc.subject.enThin films
dc.subject.enDiamonds
dc.subject.enSubstrates
dc.subject.enBoron nitrides
dc.subject.enBinary compounds
dc.subject.enCubic lattices
dc.subject.enCrystal nucleation
dc.subject.enCrystal growth from vapors
dc.subject.enCarbon
dc.subject.enDiffusion
dc.subject.enCVD
dc.titleÉtude de l'influence du substrat sur la formation de films de diamant. Application au développement de couches minces de nitrure de bore cubique
dc.title.enStudy of the role of the substrate on the diamond nucleation and application to the development of cubic boron nitride thin films
dc.typeThèses de doctorat
dc.subject.halChimie/Matériaux
bordeaux.type.institutionUniversité Sciences et Technologies - Bordeaux I
bordeaux.ecole.doctoraleSciences Chimiques
hal.identifiertel-00143406
hal.version1
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//tel-00143406v1
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