Interface optimization for high-chi block copolymers materials with sub-10 nm resolution
| dc.rights.license | open | |
| dc.contributor.author | PAQUET, A. | |
| dc.contributor.author | CHEVALIER, X. | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire des technologies de la microélectronique [LTM ] | |
| dc.contributor.author | LEGRAIN, A. | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire des technologies de la microélectronique [LTM ] | |
| dc.contributor.author | ZELSMANN, M. | |
| hal.structure.identifier | Laboratoire de Chimie des polymères organiques [LCPO] | |
| dc.contributor.author | FLEURY, Guillaume | |
| dc.contributor.author | NICOLET, C. | |
| dc.contributor.author | CLAVEAU, G. | |
| hal.structure.identifier | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI] | |
| dc.contributor.author | GHARBI, A. | |
| hal.structure.identifier | SOITEC | |
| dc.contributor.author | CAYREFOURCQ, I. | |
| hal.structure.identifier | ARKEMA FRANCE | |
| dc.contributor.author | NAVARRO, C. | |
| hal.structure.identifier | Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI] | |
| dc.contributor.author | TIRON, R. | |
| dc.date.accessioned | 2020 | |
| dc.date.available | 2020 | |
| dc.date.conference | 2017 | |
| dc.identifier.uri | https://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/20033 | |
| dc.language.iso | en | |
| dc.title.en | Interface optimization for high-chi block copolymers materials with sub-10 nm resolution | |
| dc.type | Communication dans un congrès avec actes | |
| dc.subject.hal | Physique [physics] | |
| bordeaux.hal.laboratories | Laboratoire de Chimie des Polymères Organiques (LCPO) - UMR 5629 | * |
| bordeaux.institution | Bordeaux INP | |
| bordeaux.institution | Université de Bordeaux | |
| bordeaux.country | PT | |
| bordeaux.title.proceeding | Micro- and Nano-Engineering conference - MNE 2017 | |
| bordeaux.conference.city | Braga | |
| bordeaux.peerReviewed | oui | |
| hal.identifier | hal-01825543 | |
| hal.version | 1 | |
| hal.origin.link | https://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01825543v1 | |
| bordeaux.COinS | ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.au=PAQUET,%20A.&CHEVALIER,%20X.&LEGRAIN,%20A.&ZELSMANN,%20M.&FLEURY,%20Guillaume&rft.genre=proceeding |
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