Mostrar el registro sencillo del ítem

hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorDILHAIRE, S.
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorPHAN, T.
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorSCHAUB, Emmanuel
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorCLAEYS, W.
dc.date.issued1998-01
dc.identifier.issn0035-3159
dc.description.abstractNous avons développé des techniques optiques se basant sur la détection et l'analyse des modifications de l'onde laser réfléchie pour la caractérisation thermique à l'échelle micrométrique. Les modifications sont engendrées par une perturbation thermique bien contrôlée résultant d'un échauffement électrothermique. Sur ce principe nous avons construit un banc d'instruments optiques compact et très performant. II est constitué d'un interféromètre de Michelson homodyne stabilisé, d'un réflectomètre et d'un interféromètre différentiel polarimétrique. II peut détecter une variation de température aussi faible que 10−3 K, une dilatation thermique aussi faible que quelques femtomètres (10−15 m). Sa large bande passante va du continu jusqu'à 125 MHz. Un microscope et un système de visualisation incorporés au banc de mesures permettent l'analyse thermique à l'échelle micrométrique. Dans le cadre d'études thermiques en microélectronique, nous avons pu déterminer la température de fonctionnement de composants électroniques afin d'estimer leur qualité et leur fiabilité, étudier la distribution de température et détecter les points åchauds« dans un circuit intégré, et étudier les propriétés thermophysiques et thermooptiques de matériaux utilisés en microélectronique, et ceci sur un circuit intégré.
dc.description.abstractEnWe have developed optical techniques for thermal characterisation at micrometric scale based upon the detection and the analysis of the modifications of a reflected laser beam. The modifications are induced by a well controlled thermal excitation originating from electric heating. According to this principle we have developed a very compact, high sensitivity and high resolution optical bench. It includes a homodyne stabilised Michelson interferometer, a reflectometer and a differential interferometer. It is capable of detecting a temperature variation as small as 10−3 K and a thermal dilatation as small as 10−15 m. It has a large bandwidth ranging from DC to 125 MHz. The optical bench also includes a microscope and a visualisation system allowing analysis at micrometric scale.In the field of thermal studies in microelectronics, we have been able to determine the temperature of running microelectronic components in order to estimate their quality and reliability, to study the temperature distribution and to detect hot spots in integrated circuits and to study thermooptical and thermophysical properties of materials used in microelectronics.
dc.language.isoen
dc.publisherElsevier
dc.titleSondes laser et méthodologies pour l'analyse thermique à l'échelle micrométrique. Application à la microélectronique
dc.title.enLaser probes and methodology for thermal analysis at micrometric scale. Application to microelectronics
dc.typeArticle de revue
dc.identifier.doi10.1016/s0035-3159(97)82466-x
dc.subject.halPhysique [physics]
bordeaux.journalRevue Générale de Thermique
bordeaux.page49-59
bordeaux.volume37
bordeaux.issue1
bordeaux.peerReviewedoui
hal.identifierhal-01550282
hal.version1
hal.popularnon
hal.audienceInternationale
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-01550282v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.title=Sondes%20laser%20et%20m%C3%A9thodologies%20pour%20l'analyse%20thermique%20%C3%A0%20l'%C3%A9chelle%20microm%C3%A9trique.%20Application%20%C3%A0%20la%20micro%C3%A9lectroniq&rft.atitle=Sondes%20laser%20et%20m%C3%A9thodologies%20pour%20l'analyse%20thermique%20%C3%A0%20l'%C3%A9chelle%20microm%C3%A9trique.%20Application%20%C3%A0%20la%20micro%C3%A9lectroni&rft.jtitle=Revue%20G%C3%A9n%C3%A9rale%20de%20Thermique&rft.date=1998-01&rft.volume=37&rft.issue=1&rft.spage=49-59&rft.epage=49-59&rft.eissn=0035-3159&rft.issn=0035-3159&rft.au=DILHAIRE,%20S.&PHAN,%20T.&SCHAUB,%20Emmanuel&CLAEYS,%20W.&rft.genre=article


Archivos en el ítem

ArchivosTamañoFormatoVer

No hay archivos asociados a este ítem.

Este ítem aparece en la(s) siguiente(s) colección(ones)

Mostrar el registro sencillo del ítem