hal.structure.identifier	Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
dc.contributor.author	DEBÉDA, Hélène
hal.structure.identifier	Laboratoire de l'intégration, du matériau au système [IMS]
dc.contributor.author	RUA TABORDA, Maria Isabel
hal.structure.identifier	University of Waterloo [Waterloo]
dc.contributor.author	FERNANDES, Egon
hal.structure.identifier	University of Waterloo [Waterloo]
dc.contributor.author	SALEHIAN, Armaghan
hal.structure.identifier	Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux [ICMCB]
dc.contributor.author	U-CHAN, Chung
hal.structure.identifier	Institut de Chimie de la Matière Condensée de Bordeaux [ICMCB]
dc.contributor.author	ELISSALDE, Catherine
dc.date.conference	2019-11-07
dc.language.iso	en
dc.title.en	Printed Au/PZT/Au/SS multilayer cantilever: Application to MEMS piezoelectric vibration energy harvester
dc.type	Communication dans un congrès
dc.subject.hal	Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
bordeaux.country	ES
bordeaux.conference.city	San Sebastian
bordeaux.peerReviewed	oui
hal.identifier	hal-02529101
hal.version	1
hal.invited	non
hal.proceedings	non
hal.conference.end	2019-11-08
hal.popular	non
hal.audience	Nationale
hal.origin.link	https://hal.archives-ouvertes.fr//hal-02529101v1
bordeaux.COinS	ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.au=DEB%C3%89DA,%20H%C3%A9l%C3%A8ne&RUA%20TABORDA,%20Maria%20Isabel&FERNANDES,%20Egon&SALEHIAN,%20Armaghan&U-CHAN,%20Chung&rft.genre=unknown

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Printed Au/PZT/Au/SS multilayer cantilever: Application to MEMS piezoelectric vibration energy harvester