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A versatile and compact high-intensity electron beam for multi-kGy irradiation in nano- or micro-electronic devices

hal.structure.identifierCentre d'Etudes Nucléaires de Bordeaux Gradignan [CENBG]
dc.contributor.authorGOBET, F.
hal.structure.identifierCentre d'études scientifiques et techniques d'Aquitaine (CESTA-CEA) [CESTA]
dc.contributor.authorGARDELLE, J.
hal.structure.identifierCentre d'Etudes Nucléaires de Bordeaux Gradignan [CENBG]
dc.contributor.authorVERSTEEGEN, M.
hal.structure.identifierCentre d'études scientifiques et techniques d'Aquitaine (CESTA-CEA) [CESTA]
dc.contributor.authorCOURTOIS, L.
hal.structure.identifierCentre d'Etudes Nucléaires de Bordeaux Gradignan [CENBG]
dc.contributor.authorLEBLANC, S.
hal.structure.identifierDAM Île-de-France [DAM/DIF]
dc.contributor.authorMÉOT, V.
dc.date.issued2020-01-27
dc.identifier.issn0003-6951
dc.language.isoen
dc.publisherAmerican Institute of Physics
dc.title.enA versatile and compact high-intensity electron beam for multi-kGy irradiation in nano- or micro-electronic devices
dc.typeArticle de revue
dc.identifier.doi10.1063/1.5141476
dc.subject.halPhysique [physics]
bordeaux.journalApplied Physics Letters
bordeaux.page044102
bordeaux.volume116
bordeaux.issue4
bordeaux.peerReviewedoui
hal.identifierhal-02457213
hal.version1
hal.popularnon
hal.audienceInternationale
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-02457213v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.jtitle=Applied%20Physics%20Letters&rft.date=2020-01-27&rft.volume=116&rft.issue=4&rft.spage=044102&rft.epage=044102&rft.eissn=0003-6951&rft.issn=0003-6951&rft.au=GOBET,%20F.&GARDELLE,%20J.&VERSTEEGEN,%20M.&COURTOIS,%20L.&LEBLANC,%20S.&rft.genre=article


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