Elaboration du carbure et nitrure de titane par des procédés chimiques et physique en phase vapeur : caractérisation de la microstructure

Abstract

Le carbure et le nitrure de titane ont été élaborés par des procédés chimiques et physiques en phase vapeur. Ces procédés ont permis l'obtention d'un revêtement céramique épais et dense en vue de la protection d'un dispositif métallique en tungstène. L'influence des différents paramètres expérimentaux, propres à chaque procédé, a été étudiée sur la germination, la microstructure et la texturation des revêtements, tout en intégrant l'interaction avec le substrat. L'analyse des contraintes résiduelles, réalisée par la méthode de sin2y , a permis d'expliquer le comportement vis-à-vis de la fissuration de différents dépôts.