Etude et localisation de défauts dans les circuits intégrés par stimulation photoélectrique laser
| dc.contributor.author | BEAUCHENE, Thomas | |
| dc.date | 2004-04-02 | |
| dc.date.accessioned | 2021-01-13T14:03:18Z | |
| dc.date.available | 2021-01-13T14:03:18Z | |
| dc.identifier.uri | https://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/25259 | |
| dc.description.abstract | Ce travail se situe dans le contexte général du développement de nouvelles techniques de test sans contact de circuits intégrés VLSI à partir d'un laser impulsionnel. Cette thèse s'intéresse plus particulièrement au développement de la Stimulation Photoélectrique Laser pour la localisation de défauts sub-micrométriques dans les zones conductrices d'un circuit intégré. En complément du développement instrumental, une étude de l'interaction laser impulsionnel semi- conducteur est menée à l'aide de simulations numériques. La méthodologie développée dans ce travail de thèse est ensuite appliquée à l'étude et la localisation de défauts ESD dans les circuits intégrés. | |
| dc.description.abstractEn | The aim of this work is to develop new contactless analysis techniques on VLSI circuits using a pulsed laser. The Photoelectric Laser Stimulation technique is investigated. This technique allows localizing sub-micronic defects in a conductive area of an integrated circuit. To complete the experimental study, numerical simulations where performed in order to improve the understanding of the laser pulse-semiconductor interaction. The developed methodology is finally applied to investigate and localize ESD defects in integrated circuits. | |
| dc.format | application/pdf | |
| dc.language | fr | |
| dc.rights | free | |
| dc.subject | Electronique | |
| dc.subject | Analyse de défaillance des circuits et systèmes intégrés | |
| dc.subject | Test sans contact | |
| dc.subject | Test par faisceau laser | |
| dc.subject | Stimulation Photoélectrique Laser | |
| dc.subject | Localisation de défauts dans les circuits intégrés | |
| dc.subject | Défauts ESD | |
| dc.title | Etude et localisation de défauts dans les circuits intégrés par stimulation photoélectrique laser | |
| dc.type | Thèses de doctorat | |
| bordeaux.hal.laboratories | Thèses Bordeaux 1 Ori-Oai | * |
| bordeaux.institution | Université de Bordeaux | |
| bordeaux.COinS | ctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.title=Etude%20et%20localisation%20de%20d%C3%A9fauts%20dans%20les%20circuits%20int%C3%A9gr%C3%A9s%20par%20stimulation%20photo%C3%A9lectrique%20laser&rft.atitle=Etude%20et%20localisation%20de%20d%C3%A9fauts%20dans%20les%20circuits%20int%C3%A9gr%C3%A9s%20par%20stimulation%20photo%C3%A9lectrique%20laser&rft.au=BEAUCHENE,%20Thomas&rft.genre=unknown |
