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dc.contributor.authorDESVERGNE, Matthieu
dc.date2007-10-05
dc.date.accessioned2021-01-13T14:02:51Z
dc.date.available2021-01-13T14:02:51Z
dc.identifier.urihttps://oskar-bordeaux.fr/handle/20.500.12278/25098
dc.description.abstractDans l'optique d'améliorer les performances des récepteurs et émetteurs radio-fréquences (RF) en termes de consommation et d'intégration, les Systèmes Micro-Electro-Mécaniques (MEMS) sont de très bons candidats pour remplacer les composants classiques tels que les commutateurs RF, les résonateurs et les filtres. Un des axes de recherche est actuellement concentré sur la réalisation de résonateurs intégrables sur puce pour les fréquences intermédiaires (FI) dans le but de remplacer les classiques résonateurs et filtres SAW non intégrables. Les résonateurs piézoélectriques à ondes de Lamb (LWR) ont des caractéristiques particulièrement adaptées à cette problématique. Premièrement, ces dispositifs offrent des facteurs de qualité supérieurs à 2000. Deuxièmement, leur intégration est réalisable sur puces et est compatible avec la technologie BAW exploitée par les résonateurs et filtres RF. Troisièmement, les filtres constitués de LWR offrent des impédances d'adaptation (1-2 kΩ) favorables à la très faible consommation. La première partie de cette thèse a donc été focalisée sur la conception de ces dispositifs : étude technologique, modélisation des résonateurs et des filtres, conception des masques et réalisation basée sur la technologie du LETI. Les résonateurs ainsi obtenus atteignent des facteurs de qualité de 2300 (mesure dans l'air). De plus, nous avons réalisé les premiers filtres à couplage acoustique (LCRF) exploitant un guide d'onde entre LWR pour contrôler la bande passante. La seconde partie de la thèse a été orientée vers l'implémentation d'un LWR dans une architecture de réception à convertisseur ΣΔ passe-bande à temps continu. Nous avons ainsi montré qu'ils pouvaient remplacer avantageusement les résonateurs à réseau LC ou à transconductance GmC.
dc.description.abstractEnTo improve performances of radiofrequency (RF) transceivers in terms of power consumption and integration level, Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) are great candidate to replace standard components such as RF switches, resonators and filters. One of main researches is focused on above-IC intermediate frequency (IF) resonators to replace standard off-chip components such as LC-tank and SAW resonators. Lamb wave resonators (LWR) have several advantages which correspond to the problematic. First, LWRs offer high quality factors (>2000). Second, they are above-IC and suitable for a co-integration with BAW technology used for RF antenna filter. Third, Lamb wave filters, composed of LWR, have high impedances (1-2 kΩ) adapted to ultra low power consumption. The first part on this thesis is focused on the design of Lamb wave resonators and filters: technology optimization, modeling, layout and manufacturing based on LETI technology. In this way, quality factors of 2300 have been obtained for LWR. Moreover, the first filter (LCRF) using a periodic guide to control filter bandwidth have been realized and measured. The second part of this work is focused on implementation of LWRs in continuous-time bandpass ΔΣ modulator (CT BP ΔΣ modulator). LWRs should replace LC-tank and Gm-C transconductor to improve modulator performances.
dc.formatapplication/pdf
dc.languagefr
dc.rightsfree
dc.subjectElectronique
dc.subjectMicroélectronique
dc.subjectMEMS
dc.subjectLamb
dc.subjectRF
dc.subjectFI
dc.subjectrésonateur
dc.subjectLWR
dc.subjectfiltre
dc.subjectLCFR
dc.subjectΣΔ
dc.titleEtude des résonateurs MEMS à ondes de Lamb - Application au filtrage en fréquence intermédiaire dans les récepteurs de radiotélécommunication
dc.typeThèses de doctorat
bordeaux.hal.laboratoriesThèses Bordeaux 1 Ori-Oai*
bordeaux.institutionUniversité de Bordeaux
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.title=Etude%20des%20r%C3%A9sonateurs%20MEMS%20%C3%A0%20ondes%20de%20Lamb%20-%20Application%20au%20filtrage%20en%20fr%C3%A9quence%20interm%C3%A9diaire%20dans%20les%20r%C3%A9cept&rft.atitle=Etude%20des%20r%C3%A9sonateurs%20MEMS%20%C3%A0%20ondes%20de%20Lamb%20-%20Application%20au%20filtrage%20en%20fr%C3%A9quence%20interm%C3%A9diaire%20dans%20les%20r%C3%A9cep&rft.au=DESVERGNE,%20Matthieu&rft.genre=unknown


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