Caractérisation jusqu'aux ondes millimétriques des capacités ferroélectriques et intégration dans deux déphaseurs accordables et compacts à 40 GHz et 60 GHz

Abstract

Deux déphaseurs accordables et compacts ont été développés aux ondes millimétriques en exploitant des capacités ferroélectriques à base de BST intégrées sur un substrat silicium. Les propriétés diélectriques du matériau ont été extraites à partir des mesures et d'un circuit électrique équivalent sur la bande 0,04-65 GHz. L'accordabilité atteinte est de 80% sous une tension de polarisation entre 0 et 25 V. Le premier déphaseur dérivant montre à 60 GHz un déphasage de 135° et un facteur de mérite de 23°/dB sous une tension de polarisation allant de 0 et 30 V. Le deuxième déphaseur montre à 40 GHz un déphasage de 270° et un facteur de mérite de 21°/dB sous une tension de polarisation allant de 0 et 20 V. Les performances de ces dispositifs sont meilleures que l'état de l'art actuel.