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Design and operation of a silicon ring resonator for force sensing applications above 1 MHz

hal.structure.identifierInstitut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
dc.contributor.authorWALTER, Benjamin
hal.structure.identifierInstitut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
dc.contributor.authorFAUCHER, Marc
hal.structure.identifierInstitut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
dc.contributor.authorALGRE, Emmanuelle
hal.structure.identifierInstitut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
dc.contributor.authorLEGRAND, Bernard
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorBOISGARD, Rodolphe
hal.structure.identifierCentre de physique moléculaire optique et hertzienne [CPMOH]
dc.contributor.authorAIMÉ, Jean-Pierre
hal.structure.identifierInstitut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
dc.contributor.authorBUCHAILLOT, Lionel
dc.date.created2009-08-07
dc.date.issued2009-10-05
dc.identifier.issn0960-1317
dc.description.abstractEnWe present an integrated force probe based on a silicon bulk-mode MEMS resonator. This device uses a silicon ring with symmetrical tips vibrating in the elliptic vibration mode. The tips enable us to make mechanical interactions with surfaces or external objects. Both excitation and detection of the resonator are integrated thanks to electrostatic actuation and capacitive detection. Apart from optical and electrical characterizations of the fabricated device, we report for the first time on the interaction between the resonator tip and a hydrodynamic force applied thanks to a water droplet. This demonstrates a first step toward high frequency atomic force probes for liquid medium applications.
dc.language.isoen
dc.publisherIOP Publishing
dc.title.enDesign and operation of a silicon ring resonator for force sensing applications above 1 MHz
dc.typeArticle de revue
dc.identifier.doi10.1088/0960-1317/19/11/115009
dc.subject.halSciences de l'ingénieur [physics]
dc.description.sponsorshipEuropeScanning Microscopy using Active Resonating nanoTips
bordeaux.journalJournal of Micromechanics and Microengineering
bordeaux.page115009-1-7
bordeaux.volume19
bordeaux.issue11
bordeaux.peerReviewedoui
hal.identifierhal-00472725
hal.version1
hal.popularnon
hal.audienceNon spécifiée
hal.origin.linkhttps://hal.archives-ouvertes.fr//hal-00472725v1
bordeaux.COinSctx_ver=Z39.88-2004&rft_val_fmt=info:ofi/fmt:kev:mtx:journal&rft.jtitle=Journal%20of%20Micromechanics%20and%20Microengineering&rft.date=2009-10-05&rft.volume=19&rft.issue=11&rft.spage=115009-1-7&rft.epage=115009-1-7&rft.eissn=0960-1317&rft.issn=0960-1317&rft.au=WALTER,%20Benjamin&FAUCHER,%20Marc&ALGRE,%20Emmanuelle&LEGRAND,%20Bernard&BOISGARD,%20Rodolphe&rft.genre=article


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